界2024年4月13日消息,据国家知识产权局公告,湖南三德科技股份有限公司取得一项名为“一种坩埚自动清洗方法及装置“,授权公告号CN109570164B,申请日期为2017年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种坩埚自动清洗方法,包括:S01、自动取样盘传送带上的样盘;S02、将样盘进行翻转以清除残渣;S03、对样盘进行高压气体清洗;S04、清洗完成。本发明还公开了一种坩埚自动清洗装置,包括平移组件、翻转组件、夹紧组件、抽气排尘组件和清洗组件,夹紧组件安装在翻转组件上,翻转组件安装在平移组件上,夹紧组件包括托板、滤灰网和第一驱动件,托板用于在平移组件的平移下将样盘铲起,并与托板配合以夹紧样盘;翻转组件用于对夹紧组件内的样盘进行翻转,抽气排尘组件用于对样盘进行抽气排尘作业;清洗组件用于对抽气排尘作业后的样盘进行高压气体吹扫作业。本发明的清洗方法及装置均具有自动化程度高等优点。
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